大家都清楚,在芯片制造领域,光刻胶与光刻机是一一对应的。
因为光刻机将光线投影至涂了光刻胶的硅晶圆上,通过光学化学反应后,将就芯片电路图,留在了硅晶圆上,最终制造成了芯片。
光刻机的光线,对应的就是光刻胶的种类,不能混用,且光刻胶的品质,也决定了芯片的良率等。
所以光刻胶也分为G线/I线,KrF、ArF、ArFi、EUV等等,与光刻机的分类是差不多的,并且在应用上,也差不多是一一对应,无法跨品类乱用。
而在所有的光刻胶之中,日本是处于垄断地位的,合计占到了全球份额的80%,越高端的,占有率越高,并且像EUV光刻胶,更是只有日本才能够生产。
中国一直以来光刻胶的国产化率,就相当低,到2025年时,整体国产化率大约在28%左右。并且是越高端的,国产率越低。
如下图所示,只有在最低端的G线I线上有65%的国产化率,在高端的浸润式ArFi上就只有3%不到了,EUV国产化率则为0。
并且,大家要注意的是,就算国产化率达到了28%,看起来国内也确实能够制造一些相对先进的ArF、ArF光刻胶了,但其生产线上的设备,以及原料大多还是从国外进口的,也就是说并不是实现了自主独立。
所以一直以来,大家都希望国产光刻胶能够实现全流程的100%自主可控,从原料到设备,全部国产化,这样才能真正避免卡脖子。
而现在,终于有一家企业搞定了全流程自主光刻胶产线,实现“有机合成—高分子合成—精制纯化—光刻胶混配”全链条自主制备。
它就是鼎龙股份,近日正式官宣了这一成果,并表示这是国内首条全流程自主高端光刻胶产线,从原料到设备,到生产制备全流程可控,彻底摆脱上游原料、设备依赖进口的风险 。
目前这家企业的产能高达330吨一年,纯度达 99.999%,也是国内单体规模最大的高端光刻胶产线,可满足 3-5 条 12 英寸晶圆产线的全年需求 。
这条生产线,可以制造KrF/ArF高端光刻胶,已经可覆盖 90nm 至 28nm 制程节点,后续还可能再覆盖至14nm等更先进工艺。
看到这个消息,我想日本企业是最慌了,因为一直以来,日本在这一领域,就处于垄断地位,靠着光刻胶的垄断地位,也是制裁全球,之前更是说过,要断供光刻胶来威胁我们。
但如今中国企业实现了自主可控,有了突破,那么以中国制造的优势,未来中国企业一定会产能越来越高,且性能强,成本低,那么在全球将拿下更多的份额,到时候就看日本企业怎么办了?