芯源微申请机台加热系统的控温方法等专利，提升温度控制响应速度
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2025-08-24 01:40:54
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金融界2025年8月23日消息，国家知识产权局信息显示，上海芯源微企业发展有限公司申请一项名为“机台加热系统的控温方法、装置、可读介质及电子设备”的专利，公开号CN120523262A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体技术领域，公开了一种机台加热系统的控温方法、装置、可读介质及电子设备。本申请的机台加热系统的控温方法包括：获取加热器的相关数据；基于加热器的相关数据确定出前馈增益和扰动量，前馈增益用于在检测到扰动量突增的情况下结合扰动量确定出加热器的前馈补偿功率；基于加热器的相关数据确定出加热器的耗散模型，以基于耗散模型确定出加热器的耗散补偿功率；在机台喷液工况下，如果满足设定的过程补偿条件，则确定出加热器的过程补偿功率；基于前馈补偿功率、耗散补偿功率以及过程补偿功率确定出加热器的目标加热功率。
天眼查资料显示，上海芯源微企业发展有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本63800万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯源微企业发展有限公司参与招投标项目7次，专利信息40条，此外企业还拥有行政许可59个。
来源：金融界
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