矩阵多元申请基片冷却装置专利，能提升基片的冷却速度_科技资讯

矩阵多元申请基片冷却装置专利，能提升基片的冷却速度

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2026-09-06 12:30:42

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国家知识产权局信息显示，深圳市矩阵多元科技有限公司申请一项名为“一种基片冷却装置及其操作方法、半导体生产设备”的专利，公开号CN122687154A，申请日期为2026年6月。

专利摘要显示，本申请公开了一种基片冷却装置及其操作方法、半导体生产设备，基片冷却装置包括：第一安装部，连接于真空腔体，真空腔体的内部限定出真空腔室；第二安装部，沿第一方向移动调节地连接于第一安装部，以靠近或远离真空腔体；密封组件，设置于第二安装部与第一安装部之间和/或第二安装部与真空腔体之间，密封组件限定出连通真空腔室的容腔；冷却组件，包括连接部、承托部和冷却流道，连接部穿过容腔延伸至真空腔室内，承托部设置于连接部延伸至真空腔室的一端，用于放置基片托，冷却流道流经连接部和承托部；驱动机构，传动连接于第二安装部，用于驱动第二安装部沿第一方向移动。本申请的基片冷却装置能提升基片的冷却速度，进而提升生产效率。

天眼查资料显示，深圳市矩阵多元科技有限公司，成立于2016年，位于深圳市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1548.4786万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市矩阵多元科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目120次，专利信息270条，此外企业还拥有行政许可16个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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