峨眉山嘉美申请砷化镓单晶生长用掺碳装置专利,提升了晶体纯度
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2026-03-13 22:54:40
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国家知识产权局信息显示,峨眉山嘉美高纯材料有限公司申请一项名为“一种砷化镓单晶生长用掺碳装置”的专利,公开号CN121653812A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明公开了应用于单晶生长领域的一种砷化镓单晶生长用掺碳装置,利用插接腔与排气通道的设计,在气流与重力作用下主动将反应界面的颗粒物导入收集罩,避免其滞留以保障石墨柱与承载盘界面的充分接触;当反应气体由狭窄的插接腔进入容积突增的收集罩内腔时,流速骤降,从而加速了颗粒物的沉降;此外,收集罩的大表面积内壁能对石墨颗粒进行反应消耗,并对石英颗粒产生熔融黏附,实现壁面捕集,通过上述环节的逐级作用,最终显著降低了进入晶体生长区的气体中的颗粒物含量,提升了晶体纯度;此外,通过导向筒一和导向筒二,并配合设置在排气孔内侧的多孔石英过滤环,进一步提高剥离颗粒的去除效果。

天眼查资料显示,峨眉山嘉美高纯材料有限公司,成立于2001年,位于乐山市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本3250万人民币。通过天眼查大数据分析,峨眉山嘉美高纯材料有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目9次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息26条,此外企业还拥有行政许可17个。

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来源:市场资讯

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