中科飞测申请承载装置专利，提升对不同形状翘曲晶圆的吸附稳定性
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2026-02-16 03:00:42
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国家知识产权局信息显示，广州中科飞测科技有限公司申请一项名为“一种承载装置”的专利，公开号CN121510924A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体量测技术领域，尤其涉及一种承载装置，包括：卡盘，所述卡盘具有真空吸附部，所述真空吸附部具有承载面；所述真空吸附部包括中心部和围绕所述中心部的边缘部，所述边缘部包括至少1个环形部；所述真空吸附部内具有第一气道和至少1个第二气道，所述第一气道贯穿所述中心部，所述第二气道自所述中心部向所述边缘部延伸，且所述第二气道具有位于承载面一侧的进气孔和远离承载面一侧的出气孔；所述第二气道的进气孔位于所述环形部，且所述第二气道的起点与所述真空吸附部的中心的连线和所述第二气道的终点与所述真空吸附部的中心的连线之间存在夹角。本发明至少有利于提升对不同形状翘曲晶圆的吸附稳定性。
天眼查资料显示，广州中科飞测科技有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本13000万人民币。通过天眼查大数据分析，广州中科飞测科技有限公司参与招投标项目23次，专利信息10条，此外企业还拥有行政许可67个。
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来源：市场资讯
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