晶合集成申请半导体结构制造方法专利,能提升制造良率
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2026-01-11 03:00:36
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国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“一种半导体结构的制造方法及半导体结构”的专利,公开号CN121310636A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明提供了一种半导体结构的制造方法及半导体结构,方法包括以下步骤:提供一衬底,将衬底划分为多个第一类分区和多个第二类分区,其中第一类分区用于形成第一类器件,第二类分区用于形成第二类器件;同步蚀刻第一类分区和第二类分区的部分衬底,形成初始沟槽于衬底中;形成覆盖第一类分区和第二类分区的保护层;去除第一类分区的保护层,露出第一类分区的初始沟槽;蚀刻初始沟槽,并调整初始沟槽的槽壁形貌,形成西格玛沟槽;形成第一外延结构于西格玛沟槽中;去除第二类分区上的保护层,并露出第二类分区的初始沟槽;以及形成第二外延结构于第二类分区的初始沟槽中。本发明能提升制造良率,且减少光罩的使用频率,降低制造成本。

天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200613.5157万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目634次,财产线索方面有商标信息41条,专利信息1561条,此外企业还拥有行政许可22个。

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来源:市场资讯

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