思瑞浦申请半导体器件制造方法专利,提升半导体器件的可靠性
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2026-01-08 12:21:38
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国家知识产权局信息显示,思瑞浦微电子科技(苏州)股份有限公司申请一项名为“半导体器件制造方法”的专利,公开号CN121285279A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本申请公开了一种半导体器件制造方法。该半导体器件制造方法包括:提供半导体主体,半导体主体包括衬底,位于衬底上的外延层和位于衬底与外延层之间的埋层,衬底和外延层具有第一掺杂类型,埋层具有与第一掺杂类型相反的第二掺杂类型;形成第一沟槽结构,第一沟槽结构自半导体主体表面延伸至衬底以与衬底电连接;在半导体主体中形成器件区域;至少在器件区域的部分表面处形成氧化隔离结构;以及在形成氧化隔离结构后形成第二沟槽结构,第二沟槽结构自半导体主体表面延伸至埋层以与埋层电连接。通过后移第二沟槽结构的形成步骤,可以有效减少第二沟槽结构在后续流程中的损耗,利于避免其内部的掺杂外扩,从而提升半导体器件的可靠性。

天眼查资料显示,思瑞浦微电子科技(苏州)股份有限公司,成立于2012年,位于苏州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本13780.1498万人民币。通过天眼查大数据分析,思瑞浦微电子科技(苏州)股份有限公司共对外投资了15家企业,参与招投标项目24次,财产线索方面有商标信息31条,专利信息317条,此外企业还拥有行政许可11个。

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来源:市场资讯

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