燕东微取得清洁装置专利，提高了清洁效果
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2026-01-02 16:21:10
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国家知识产权局信息显示，北京燕东微电子科技有限公司取得一项名为“清洁装置”的专利，授权公告号CN223749323U，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体领域，具体地提供一种清洁装置，清洁装置包括清洁磨盘和抽气组件，抽气组件包括抽气管，抽气管具有抽气端和排气端，排气端用于连接到真空发生器；清洁磨盘中设有清洁通道，清洁通道的两端分别延伸至清洁磨盘的第一表面和第二表面，抽气管的抽气端与清洁通道连通，清洁磨盘能够相对于静电吸盘运动，以通过其第一表面的摩擦，使静电吸盘上的污染物从所述静电吸盘上脱离，抽气组件能够将所述污染物吸走，在清洁装置清洁的过程中，抽气组件能够及时彻底地将从静电吸盘上脱离下来的污染物吸走，提高了清洁效果。
天眼查资料显示，北京燕东微电子科技有限公司，成立于2016年，位于北京市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1600000万人民币。通过天眼查大数据分析，北京燕东微电子科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1073次，专利信息170条，此外企业还拥有行政许可113个。
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来源：市场资讯
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