皓宇芯光取得极紫外光发生舱专利,提高了电离台的调节精度
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2025-12-26 19:01:03
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国家知识产权局信息显示,合肥皓宇芯光科技有限公司取得一项名为“一种极紫外光发生舱”的专利,授权公告号CN223725891U,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种极紫外光发生舱,包括:舱室壳体,舱室壳体内设置真空腔室,真空腔室内设置固定座,固定座侧壁安装有螺纹套,固定座上设置电离台,舱室壳体连接位移调节器,位移调节器包括螺纹杆,螺纹杆外套设有螺纹套,且螺纹杆端部的滚珠与电离台抵接,电离台侧壁与固定座侧壁之间设置若干弹簧,弹簧用于对电离台施加牵拉力。本实用新型中,对电离台进行位置调节时,螺纹杆转动,再配合螺纹套,使螺纹杆端部的滚珠推动电离台,电离台发生位移,在电离台位移期间,弹簧对电离台时刻具备牵拉作用,在牵拉作用下螺纹杆与螺纹套之间的螺纹配合更加紧密,解决调节过程中螺纹杆与螺纹套之间产生的相对晃动,提高了电离台的调节精度。

天眼查资料显示,合肥皓宇芯光科技有限公司,成立于2023年,位于合肥市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1580.4094万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥皓宇芯光科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目16次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息18条,此外企业还拥有行政许可3个。

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来源:市场资讯

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