原创 美论坛:没有得到美国的允许,中国为什么敢私自研发DUV光刻板?
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2025-10-25 21:21:54
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在芯片这个高科技战场上,美国人总觉得自己是裁判,手里握着红黄牌,就能让别人停下脚步。可最近,美国一些科技论坛上,就因为中国企业开始测试自家造的DUV光刻机。那些帖子一条接一条,标题党味十足,直戳“中国怎么敢不问美国就自己搞研发”。技术这东西,本来就是各国凭本事拼出来的,谁规定非得先去华盛顿领许可?

美国论坛热议中国自研DUV

美国那些科技社区,本来是工程师们聊技术的地儿,现在却成了吐槽中国的战场。2025年9月17日,Financial Times报道中芯国际开始测试裕量生公司开发的国产浸没式DUV光刻机,帖子标题直白:“中国试图逆向工程ASML机器,结果搞坏了”,下面评论区一片哗然,有人说这会破坏全球供应链,有人直呼这是对美国规则的挑衅。Quora上也有人发问:“ASML的CEO都说了,华为得遵守商业规则,中国自研DUV算不算挑战全球科技秩序?”回复里,美国网友们你一言我一语,基本调调是觉得中国不该“偷技术”,得先过美国这关。

转到TechPowerUp论坛,3月份就有帖子讨论中国国产EUV工具对ASML垄断的冲击,到9月又跟进DUV测试新闻。网友们分析得头头是道,说美国从2019年就开始卡EUV,现在DUV也禁了,中国却偏偏自己动手,这不是明着顶风作案吗?SemiWiki上,专业人士更直接,贴出时间线图,从2022年美国扩展DUV禁令,到2024年荷兰跟进维修限制,全是想把中国摁在低端制程。帖子浏览量蹭蹭上涨,有人转发到Facebook群,感慨中国半导体自给自足的步伐太快,威胁到西方定价权。Effective Altruism Forum甚至拉长线,说美国芯片政策再严,也挡不住中国市场拉动的创新势头。

论坛上,美国人还爱拿历史说事。早年他们通过EUV联盟整合全球资源,2003年掌握核心光源技术,现在ASML虽是荷兰公司,但股权和供应链大半在美国手里。网友们觉得,中国研发DUV就该申请许可,不然就是不守规矩。可瓦森纳协定从90年代就卡中国脖子,高科技产品一禁了之,现在轮到DUV,他们还想继续这套。Reddit上有人贴出ASML财报,2025年中国销售预计降到总营收20%,却还是DUV需求在拉动销量,这让美国网友更急眼了。整个论坛氛围,就跟自家地盘被占了似的,充满了不甘和焦虑。

而这些热议不光停在网上,还影响了线下。2025年10月,美国国会听证会上,官员们引用论坛截图,强调需加强出口管制。Quora帖子回复破千,网友们从技术细节聊到地缘风险,基本共识是,中国DUV自研会加速AI芯片国产化,7nm甚至5nm制程指日可待。这事儿在美国科技圈搅起波澜,也让全球半导体格局多了一丝不确定。

美方出口管制升级阻中国DUV

美国对中国的芯片围堵,从来不是小打小闹,而是步步为营的战略布局。2019年10月,美国商务部就对EUV光刻机下手,ASML的先进型号从此需特殊许可才能卖给中国大陆。这本是针对7nm以下高端制程的卡脖子,可美国人胃口大,2022年10月9日,拜登政府直接扩展到DUV领域,新规切断中国获取高性能半导体和制造工具的渠道。

2023年3月,荷兰出台补充规定,所有DUV出口逐案审查,9月1日正式生效,尽管一度延期到2024年1月,但高端型号供应缩水八成。10月17日,美国政府再发公告,30天后生效的管制细节复杂到ASML都得花时间消化。转眼2024年,8月31日,荷兰计划限制ASML对中国客户的维修服务,美国国务院直言不干就二级制裁。ASML总部收到指令,上海售后中心的服务暂停,机器嗡鸣声戛然而止。

12月2日,美国更新管制清单,新增计量和软件工具,ASML预计2025年影响在展望范围内,但中国销售占比从高峰的49%降到20%。2025年1月17日,荷兰排除大部分ASML对华销售,视其为非双用物品。7月10日,DUV需求虽推高ASML业绩,但EUV禁令铁板一块。10月16日,ASML财报直言,美国贸易限制让中国市场掉头向下,2026年需求预计进一步下滑。这些禁令层层加码,意图把中国半导体锁死在28nm以上,避免追赶10nm制程。

根子还在美国那套芯片霸权逻辑。ASML的EUV系统虽整合全球5000多家供应商,但核心光源在美国手里,专利控制上游。DUV禁令不过是延续这套玩法,早年收拾日本时,用广场协议打趴经济,现在对中国是出口管制加施压盟友。荷兰首相在布鲁塞尔会议上虽提评估本土影响,但ASML股权美国资本超四成,供应链依赖美德日,硬气不起来。中国企业采购额2024年上半年达380亿美元,超美韩台总和,可禁令一出,订单锐减20%。

从瓦森纳协定到如今的实体清单,美国的套路没变过。2023年10月公告后,ASML需逐台审核设备,2024年维修禁令让老机器成摆设。2025年展望中,中国虽占DUV大头,但整体销售下滑,ASMLCEO直言得适应新常态。这些管制听着严密,其实漏洞百出,中国企业早醒悟,核心技术买不来,只能自己干。

中国自力更生攻克DUV难关

而中国芯片路,走得曲折但步子稳。60年代初,就组装出首批接触式光刻设备,70年代末扩展到投影式系统,在国际上站得住脚。可90年代,瓦森纳协定一卡,进口壁垒高筑,国内一度买外国设备,项目经费紧缩,本土研发掉队。形势变于2010年代,国家政策倾斜资金,上海微电子装备公司2015年起专注DUV,团队日夜攻关光学系统。

2023年6月,SMEE推出28nm浸没式DUV原型,中芯国际启动测试,多重曝光验证7nm兼容。2024年上半年,芯片设备采购380亿美元,支持产业链本土化。清华大学团队完成双工件台系统,精度2nm。2025年1月7日,SMEE交付首批28nm机器,中芯国际洁净室卸货固定。9月17日,裕量生28nm浸没DUV上线测试,激光脉冲闪烁,冷却风扇运转,采用多重图案化目标7nm,良率虽低但潜力到5nm。

10月8日,中国专利公布,提升芯片图案质量方法。SMEE的ArF浸没DUV推进中,600系列90nm量产,28nm开发加速。裕量生设备多用国产部件,少数海外采购,但全链条自给努力中。全球供应链重构,中国14亿市场拉动创新,政策支持从光源到胶片国产化,国产率上升60%。

差距在,但优势明显。ASML领先两代,可中国需求庞大,国家投入大。2025年第三季度,产品迭代快,SMIC测试报告良率85%,年底批量投产,结合库存ASML,三倍产能扩张。产业链生态完善,供应商合同签下,弯道超车机会来。自主创新是硬道理,早年“造不如买”教训深刻,现在两条腿走路,引进消化再突破。

虽然这路漫长,但信心足。美国禁令越紧,中国步子越实。技术无国界,但自立自强是底线。未来,中国DUV不光止步28nm,AI芯片国产化指日可待。

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