证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“直写光刻设备和曝光控制方法”，专利申请号为CN202411056139.8，授权日为2025年9月16日。

专利摘要：本发明公开了一种直写光刻设备和曝光控制方法，直写光刻设备包括：光源、工件台、至少一排的数字微镜单元、对应每个数字微镜单元的投影系统、散热系统和控制器。其中，工件台上适于放置基板，基板上有光刻膜；数字微镜单元用于对光源投射的光线进行调制以形成数字掩膜图案；投影系统用于将对应的数字微镜单元投射的带有数字掩膜图案的光投影到基板上；散热系统用于对基板进行散热；控制器与每个数字微镜单元、散热系统连接，用于曝光时启动散热系统并根据基板温度与环境温度的差值控制散热系统的散热强度。该设备可以在基板进行光刻阻焊时，通过控制器控制散热系统对基板进行散热，避免基板上奇偶条带光刻膜在按先后顺序曝光后具有奇偶性规律的油墨颜色差异。

今年以来芯碁微装新获得专利授权28个，较去年同期增加了7.69%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6095.32万元，同比增24.56%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目146次；财产线索方面有商标信息33条，专利信息372条，著作权信息53条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：天眼查APP

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