芯碁微装获得发明专利授权:“直写光刻设备和曝光控制方法”
创始人
2025-09-17 12:42:03
0

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示芯碁微装(688630)新获得一项发明专利授权,专利名为“直写光刻设备和曝光控制方法”,专利申请号为CN202411056139.8,授权日为2025年9月16日。

专利摘要:本发明公开了一种直写光刻设备和曝光控制方法,直写光刻设备包括:光源、工件台、至少一排的数字微镜单元、对应每个数字微镜单元的投影系统、散热系统和控制器。其中,工件台上适于放置基板,基板上有光刻膜;数字微镜单元用于对光源投射的光线进行调制以形成数字掩膜图案;投影系统用于将对应的数字微镜单元投射的带有数字掩膜图案的光投影到基板上;散热系统用于对基板进行散热;控制器与每个数字微镜单元、散热系统连接,用于曝光时启动散热系统并根据基板温度与环境温度的差值控制散热系统的散热强度。该设备可以在基板进行光刻阻焊时,通过控制器控制散热系统对基板进行散热,避免基板上奇偶条带光刻膜在按先后顺序曝光后具有奇偶性规律的油墨颜色差异。

今年以来芯碁微装新获得专利授权28个,较去年同期增加了7.69%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6095.32万元,同比增24.56%。

通过天眼查大数据分析,合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目146次;财产线索方面有商标信息33条,专利信息372条,著作权信息53条;此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源:天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。

相关内容

热门资讯

周末飞韩国打200块变美针,白... 近年来,随着赴韩旅游的门槛变低,当地的轻医美项目吸引了不少中国年轻人的目光。相比国内医美机构所提供的...
2026年度空军在河南招飞!报... 2026年,海军继续面向普通高中毕业生和军地高校应届毕业生招收选拔舰载机飞行学员,欢迎广大有志青年踊...
商务部:将在约50城开展消费新... 【大河财立方消息】 9月17日,国务院新闻办举行新闻发布会,介绍《关于扩大服务消费的若干政策措施》的...
荣耀高管称Magic8将是Q4... 2025年9月17日,荣耀品牌营销总裁、集团首席营销官郭锐在社交媒体平台发文称,即将发布的荣耀Mag...
台湾地位未定论,老调重弹为哪般 从9月12日开始,围绕所谓“台湾地位未定论”这个陈词老调,台海两岸、太平洋两岸的中美之间又进行了一番...
捡到“巨型金条”的小哥找到了! 近日“深圳一市民捡到巨型金条”引发网友广泛关注有网友在社交平台上发布视频称在深圳罗湖看到有一名交警在...
解决一切烦恼“微乐锄大地果然... 有亲,根据资深记者爆料微乐锄大地是可以开挂的,确实有挂(咨询软件无需打开直接加微835087887)...
今日通报“雀神广东麻将辅助挂... 有亲,根据资深记者爆料雀神广东麻将是可以开挂的,确实有挂(咨询软件无需打开直接加微835087887...
避开输局“惠东麻将辅助烂牌也... 有亲,根据资深记者爆料惠东麻将是可以开挂的,确实有挂(咨询软件无需打开直接加微1...
一分钟秒懂圈友娱乐透视作弊挂... 有亲,根据资深记者爆料圈友娱乐是可以开挂的,确实有挂(咨询软件无需打开直接加微835087887)您...