元臻微电首条xMR量子材料生产线试产
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2025-09-02 13:03:46
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来源：市场资讯
（来源：SEMI）
据孝感国家高新区官微消息，日前，湖北元臻微电洁净厂房内，第一条xMR生产线已架设完毕，高真空退火炉、磁控溅射等设备正在进行全流程试生产，确保9月中旬交付产品。
据了解，元臻微电于2023年落子孝感，投建年产2万个xMR量子材料项目。该项目依托三大核心产品矩阵发力：xMR晶圆材料类，提供高性能磁性薄膜晶圆；xMR传感核心类，构建磁信号转换的精密“桥梁”；TMR（隧道磁阻）+MEMS（微机电系统）基础结构类，为多传感器融合奠定基础。
据相关负责人介绍，xMR技术是一种高性能量子磁传感技术，在外加磁场作用下，电阻变化幅度可达到传统霍尔技术的数百倍，沉积薄膜工艺一致性控制在1.0%以内，处于国内领先水平。
其中，一款xMR晶圆为小量程高精度，另一款为大量程高线性度，主要满足智能电网、消费电子、人形机器人等应用领域。其核心在于铁磁/非磁/铁磁（FM/NM/FM）的纳米级三明治结构，通过电子自旋实现物理级信号的精密转换。这种自旋电子学的应用，使器件具有体积小、超低功耗、高灵敏度、抗辐射和寿命长等优点，可实现“感存算一体”功能。
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