在半导体设备制造领域，一项被国外长期垄断的关键技术迎来突破。记者近日从河海大学获悉，河海大学苏州研究院仿生机器人技术团队与企业紧密合作，成功研发出“真空环境超洁净晶圆传送机械臂”，并在半导体制造领域实现重要应用，为我国半导体设备整机装备制造解决了关键技术难题。

团队研发机械臂

长期以来，真空环境超洁净晶圆传送机械臂作为半导体晶圆生产线的“神经中枢”，广泛应用于光刻机、刻蚀机等关键设备，其性能直接决定芯片制造的精度与效率。然而，该类设备长期被日本乐兹（Rorze）、美国布鲁克斯（Brooks）等企业垄断，且被列入禁运产品目录，严重影响产业链安全。

“半导体产业要突破，关键设备的‘自主可控’是必由之路。”河海大学团队负责人徐林森教授介绍说，“成果研发过程采用了产学研结合的方式开展，以企业为主体，我们研究团队与北京航空航天大学等优势单位联合开展，各方发挥自身优势进行关键技术攻关。”

历经多轮技术迭代，该成果已实现多项关键突破：机械系统采用集成化驱动与磁流体密封技术，解决了真空环境下的洁净度控制难题；基于国产操作系统构建的实时控制系统，实现纳秒级响应精度；创新研发的误差补偿算法，将机械臂重复定位精度控制在±0.05mm，水平方向振动降至 0.2g，各项指标均达到国际先进水平。

徐林森说：“这项技术的产业化，不仅提升了企业的研发与管理水平，更推动了集成电路装备与机器人、智能制造技术的深度融合。”该成果将加速集成电路装备国产化进程，助力培育产业创新新生态，为我国集成电路产业链自主创新能力提升提供核心支撑。

目前，该机械臂已成功导入多家行业标杆企业，在薄膜沉积、刻蚀等关键制程中稳定运行，设备工艺适配性获客户高度认可，累计实现销售收入约 1300 万元。

与此同时，团队协助企业牵头编制《真空晶圆搬运机器人验收规范》团体标准，推动国产设备与国际规则对接；已获国家发明专利 6 件、实用新型专利 2 件及软件著作权 2 项，构建起坚实的技术壁垒。

对于未来，团队表示将继续聚焦5G通信、人工智能芯片等高端应用领域，提供定制化传输解决方案。同时，依托在晶圆传送机械臂领域的技术积累，创新性开展设备翻新与升级服务，打造“设备销售+增值服务”的双轮驱动模式。

扬子晚报/紫牛新闻记者 王赟