据徐州日报报道,近日,江苏集芯先进材料有限公司(以下简称“江苏集芯”)成功出炉首枚8英寸液相法(LPE)高质量碳化硅单晶。经检测,晶体面型、晶型与结晶质量均达到预期目标,标志着江苏集芯在第三代半导体核心材料领域再下一城,也为我国碳化硅产业链的自主可控写下关键一笔。
据了解,江苏集芯在6/8英寸物理气相传输法(PVT)已实现量产的基础上,仅用半年便完成液相法工艺从6英寸到8英寸的研发跨越。
相比PVT法,液相法在生产效率、材料利用率、成本控制及大尺寸扩径等方面优势显著,被公认为下一代碳化硅长晶的核心路线。由于全球范围内,仅极少数顶尖机构曾试制出液相法晶体,真正迈入8英寸级仍属罕见,因此江苏集芯此次突破为未来低成本、低缺陷、易掺杂的碳化硅晶体生产打通了“快车道”。
近年来,徐州把集成电路与ICT产业纳入全市“343”创新产业集群重点打造,以打造淮海“芯”高地为目标,初步形成邳州市半导体材料和设备、徐州经开区半导体材料和先进封测、徐州高新区终端应用的产业发展格局。
第三代半导体方面,不断实现碳化硅、氮化镓等领域技术突破,汇聚了如天科合达、镓宏半导体、江苏集芯、徐州致能、中科汉韵、江苏实为 等有实力的企业。
其中天科合达是北京天科合达的全资子公司2018年落户徐州经开区。公司专注于第三代半导体碳化硅衬底及相关产品研发、生产和销售,产品涵盖2-8英寸导电型、半绝缘碳化硅晶片,技术水平国内领先。
(文/集邦化合物半导体 Niko 整理)
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