ASML申请流体处理系统和方法专利，公开一种流体处理系统
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2025-07-28 20:21:54
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金融界2025年7月28日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“流体处理系统和方法”的专利，公开号CN120380422A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本文公开了一种流体处理系统，包括液体限制结构（12）、气体供应管道（70）和流体输送管道（80）。液体限制结构被配置为将浸没流体限制在液体限制结构的至少一部分与衬底的表面之间的空间内。气体供应管道被配置为向该空间供应流体。气体供应管道具有流量控制器（71），该流量控制器被配置为控制来自气体供应管道的气体的供应。流体输送管道被配置为输送从该空间抽取的流体。流体输送管道具有流量计（81），该流量计被配置为测量流体输送管道中的气体的流量。在校准模式下，由流量控制器供应的气体经由旁通管道（90）直接流动到流体输送管道，其中，旁通管道绕过液体限制结构。
来源：金融界
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