东莞新科申请半导体衬底的处理方法专利，降低类金刚石碳层的刚性
创始人
2025-06-28 06:40:48
0次
金融界2025年6月27日消息，国家知识产权局信息显示，东莞新科技术研究开发有限公司申请一项名为“半导体衬底的处理方法”的专利，公开号CN120210722A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明的半导体衬底的处理方法包括：将半导体衬底、石墨靶置于真空腔室；以及向所述真空腔室通入碳氢类气体以及聚氨酯单体气体，所述碳氢类气体的流量大于所述聚氨酯单体气体的流量，在所述半导体衬底的表面形成类金刚石碳层并在所述类金刚石碳层上掺杂聚氨酯单体。该方法简单易行，成本低，可在半导体衬底表面形成可封孔膜层，从而降低类金刚石碳层的刚性，提高其柔韧性，防止其脆裂，从而延长使用寿命。
天眼查资料显示，东莞新科技术研究开发有限公司，成立于2004年，位于东莞市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1050万美元。通过天眼查大数据分析，东莞新科技术研究开发有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息564条，此外企业还拥有行政许可43个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
“三合一”四足机器人、智能拉花...
深圳新闻网2025年6月28日讯（深圳特区报记者 周雨萌/文 陈行/图）昨日，第二十届中国国际中小企...
雷军确认玄戒O2即将上车！已自...
【CNMO科技消息】近日，据小米CEO雷军透露，第二代玄戒芯片会考虑在车上应用，自研四合一域控制器，...
千万元支持、百万元奖励：山东机...
山东省工信厅等25个部门单位近日联合印发《山东省机器人产业高质量发展行动计划（2025—2027年）...
互联网大厂们，想打赢半小时战争
「核心提示」 当社区团购退潮，即时零售接棒 作者 | 詹方歌 编辑 | 邢昀 一场围绕消费者...
大快人心！男子掐死女友藏尸酒店...
男子因购物分期引发情绪失控，竟残忍地掐死女友并将其藏尸酒店，这一恶行径令人发指。他用那无情的双手扼住...
“吃”的是电，“吐”的是油，上...
烈日出“考题”，2500平方米的上海交通大学能源广场来“作答”。 这座广场是个活的能源生态系统：停车...
翰林航宇取得一种软胶囊外观智能...
金融界2025年6月27日消息，国家知识产权局信息显示，北京翰林航宇智能检测设备有限公司取得一项名为...
再生是“超能力”？科学家发现这...
科学家打开基因“开关”实现小鼠耳廓再生 壁虎断尾重生、蝾螈大脑自愈……一些动物的再生“超能力”让人叹...
“巢燧”大模型基准测试发布国内...
继DeepSeek-R1开源发布之后，国内多家企业陆续研发和上线了深度推理大模型。“巢燧”大模型基准...
华为发布星河AI高品质万兆园区...
6月27日，以“无智联，不AI”为主题的品智联接数据通信商业市场创新峰会在深圳举办。在此次峰会上，华...